soi指的是什麼意思

SOI材料具有了體矽所無法比擬的優點：可以實現積體電路中元器件的介質隔離，徹底消除了體矽CMOS電路中的寄生閂鎖效應；採用這種材料製成的積體電路還具有寄生電容小、整合密度高、速度快、工藝簡單、短溝道效應小及特別適用於低壓低功耗電路等優勢，因此可以說SOI將有可能成為深亞微米的低壓、低功耗積體電路的主流技術。此外，SOI材料還被用來製造MEMS光開關，如利用體微機械加工技術。

SOI應用範圍：

除了特異的優點，在積體電路中使用外，還被用於微光機電MEMS系統的製造，如3D反射鏡陣列開關。該反射鏡是在SOI襯底的'活性層中形成可動反射鏡，與另一臺階狀電極的襯底連線而成。由於使用單晶矽襯底，且在可動反射鏡，直徑500微米，的上下面上對稱的以同一條件而形成反射膜等，因此，具有10奈米級的翹曲與數十奈米的表面粗糙度。