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1.引言在光刻機雙工件臺控制系統中,VME匯流排使用了三個介面共430根線路接入,通過背板互聯的有P1,P2兩個介面320根線路接入。實際上VME標準協議並沒有完全使用全部線路,而是為使用者預留了部分自定義線路,增加了設計的靈活性。...
1引言在光刻機雙工件臺控制系統中,VME匯流排使用了三個介面共430根線路接入,通過背板互聯的有P1,P2兩個介面320根線路接入。實際上VME標準協議並沒有完全使用全部線路,而是為使用者預留了部分自定義線路,增加了設計的靈活...
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